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Selección del grosor de la película de microdispersión

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Descripción general

Proyecto de medición del grosor de la película de microdispersión de la serie optm: · Jue * medición de la reflectividad • Análisis de películas multicapa • Análisis de constantes ópticas (n: índice de refracción, k: coeficiente de extinción)

Detalles del producto

Serie optmMedidor de espesor de película de microdispersión

• Se puede realizar un análisis de espesor de película / constante óptica de alta precisión midiendo la reflectividad en una pequeña región mediante un método microscópico - espectral a través de un *.

• El espesor de las películas se puede medir de manera no destructiva y sin contacto, como diversas películas, obleas, materiales ópticos y multicapa. En términos de tiempo de medición, se puede alcanzar una medición de alta velocidad de 1 segundo por punto, y está equipado con un software que puede analizar fácilmente las constantes ópticas incluso para los usuarios que lo usan por primera vez.

• la cabeza integra las funciones necesarias para medir el espesor de la película

- Medición de alta precisión mediante espectrometría microscópica * reflectividad de pares (espesor de la película multicapa, constante óptica)

Medición a alta velocidad a 1: 1 segundo

- sistemas ópticos de amplia gama bajo microlitografía (ultravioleta a infrarrojo cercano)

- mecanismos de Seguridad para los sensores de área

- Guía de análisis fácil, y los principiantes también pueden realizar análisis de constantes ópticas

• la cabeza de medición independiente corresponde a diversas necesidades personalizadas en línea

- soporte para varias personalizaciones

Proyecto de medición:

·* SíMedición de la reflectividad

Análisis de películas multicapa

- Análisis de constantes ópticas (n: índice de refracción, k: coeficiente de extinción)

Serie optmMedidor de espesor de película de microdispersión

modelo

OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

Rango de longitud de onda

230 a 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 a 1600 nm

Rango de espesor de la película

1 nm ~ 35 μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

Tiempo de determinación

1 segundo / 1 punto

Tamaño del punto de luz

10 micras (aproximadamente 5 micras más pequeñas)

Elemento sensible a la luz

CCD

InGaAs

Especificaciones de la fuente de luz

Lámpara de deuterio + lámpara de halógeno

Lámparas halógenas

Especificaciones de la fuente de alimentación

AC100V ± 10V 750va (especificaciones del Banco de muestras automático)

tamaño

555 (w) × 537 (d) × 568 (h) mm (parte principal de las especificaciones de la Mesa de muestra automática)

peso

alrededor de55 kg (parte principal de las especificaciones de la Mesa de muestra automática)