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Habitación 2902, 188 Yan 'an Middle road, Distrito de changning, Shanghai
Shanghai Maoshuo Machinery Equipment Co., Ltd
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Habitación 2902, 188 Yan 'an Middle road, Distrito de changning, Shanghai
Válvulas de vacío súper altas de la serie Suiza VAT uhv
tipo: válvula de vacío ultra - alta sellada de metal completo (ultra - alta valve)
ámbito de aplicación del vacío:
versión estándar:10⁻⁹ ~ 10⁻ ² mbar
Versión personalizada:: hasta 10 mbar (diseño especial para hornear)
Ventajas básicas:
Cero fugas: tasa de fuga del sello metálico< 1 × 10 1 mbar = '' > (he Detection of leaks).
Horneado resistente a altas temperaturas: el cuerpo de la válvula es soportable250 ° C ~ 300 ° CHornear (versión estándar) /450°C(versión personalizada).
Sin materiales orgánicos: estructura totalmente metálica para evitar la contaminación por descarga de gas.
Sistema de doble sellado: sello principal (filo de cuchillo metálico) + sello secundario (compensación elástica).
Accionamiento de bajo par: Acoplamiento magnético o transmisión de fuelle para evitar fugas en el sello del eje.
Pureza del material: acero inoxidable 316L (pulido electrolítico de grado ep), rugosidad de la superficie inferior a 0,8 micras. ().
| Segmento de código | Significado |
|---|---|
| UHV | Nombre de la serie (válvula de vacío uhv) |
| 24 | Tamaño del diámetro (24 = dn40, 54 = dn100) |
| sufijo | Modo de conducción (por ejemplo - m = manual, - a = neumático) |
| modelo | Diámetro | Tipo de brida | Modo de conducción | Tasa de fuga | Temperatura de cocción | Rango de precios (yen) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| IVA UHV 24-A | DN40 | CF-F | neumático | <1×10 ⁻ ¹² mbar=''> | 250°C | 50.000 a 80.000 |
| IVA UHV 54-M | DN100 | ISO-K | manual | <1×10 ⁻ ¹² mbar=''> | 300°C | 120.000 a 180.000 |
| IVA UHV 10-E | DN16 | ICF | eléctrico | <1×10 ⁻ ¹³ mbar=''> | 450 ° c (personalizado) | 200.000 + |
| parámetro | Valor estándar / rango |
|---|---|
| 真空性能 | |
| - tasa de fuga | <1×10 ⁻ ¹² mbar=''> |
| - diferencia de presión | 10 m2 mbar a presión atmosférica |
| Propiedades mecánicas | |
| Material del cuerpo de la válvula | Acero inoxidable 316L (clase ep) |
| - material de sellado | Cobre / aluminio chapado en oro o cobre sin oxígeno |
| - vida útil del ciclo | > 50000 veces (sello metálico) |
| Parámetros eléctricos / neumáticos | |
| - modo de conducción | Neumáticos (0,5 a 0,7 mpa) / eléctricos (24v dc) |
| - tiempo de respuesta | Versión neumática ≤ 1s, versión eléctrica ≤ 5s |
| Adaptabilidad ambiental | |
| - temperatura de cocción | Estándar 250 ° c, personalizado 450 ° C |
| Resistencia a la corrosión | Compatible con h, o, plasma (se requiere recubrimiento selectivo) |
aplicación:
Aislamiento de la cavidad de la máquina de grabado / Máquina de implantación de iones (prevención de la contaminación por partículas).
Mantenimiento de vacío súper alto del sistema de Epitaxia de haz molecular (mbe).
Recomendación del modelo:
VAT uhv 24 - a (dn40, aislamiento aerodinámico rápido).
aplicación:
Control de haz de la fuente de luz de radiación sincrotrón.
Segmentos de vacío de dispositivos de fusión nuclear (como tokamak).
Recomendación del modelo:
VAT uhv 54 - M (dn100, sellado manual y confiable).
aplicación:
Prueba de sellado al vacío del tanque de almacenamiento de propulsor por satélite.
Regulación de la presión de la cavidad de la máquina de recubrimiento óptico.
Recomendación del modelo:
VAT uhv 10 - E (dn16, control eléctrico de precisión).
Demanda de diámetro: calculado en función del tráfico (por ejemplo, el par dn40 debe ser de aproximadamente 20 l / S @ 10 mbar).
Modo de conducción:
neumático: interruptor rápido (adecuado para aislamiento seguro).
eléctrico: se puede integrar el control automatizado (como el plc).
Norma de brida:
Brida CF: vacío súper alto (sello metálico).
Brida ICF: demanda de tasa de fuga mínima (por ejemplo, 10 mbar).
Requisitos de limpieza:
Limpiar la superficie de la brida con cetona / alcohol (usar guantes libres de polvo) antes de la instalación.
Control del par:
Los pernos de la brida CF deben apretarse paso a paso de acuerdo con la línea diagonal (dn40 recomienda de 8 a 10 nm).
Recomendaciones para hornear:
Se calienta a 250 ° C a una velocidad de 10 ° C / min y se mantiene caliente durante 48 horas.
| Fenómeno de fallo | Posibles causas | solución |
|---|---|---|
| La tasa de fuga supera el estándar | Arañazos en la superficie de sellado / contaminación por partículas | Volver a pulir la superficie de sellado o reemplazar el asiento |
| La válvula está atascada | Deformación / lubricación insuficiente a altas temperaturas | Uso de grasa de alta temperatura (como apiezon) |
| Fallo de accionamiento | Falla de la válvula solenoide (versión neumática) | Comprobar la presión de la fuente de gas (≥ 0,5 mpa) |