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¿¿ cuál es mejor para vender válvulas de vacío de ultra alta presión?

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Descripción general

Las siguientes son análisis técnicos detallados de las válvulas de vacío súper alto de la serie VAT uhv en suiza, que cubren sus características, parámetros y escenarios de aplicación, y son adecuadas para entornos estrictos como semiconductores e investigación científica:

Detalles del producto

Válvulas de vacío súper altas de la serie Suiza VAT uhv

I. características centrales de la serie uhv

1. posicionamiento del producto

  • tipo: válvula de vacío ultra - alta sellada de metal completo (ultra - alta valve)

  • ámbito de aplicación del vacío:

    • versión estándar:10⁻⁹ ~ 10⁻ ² mbar

    • Versión personalizada:: hasta 10 mbar (diseño especial para hornear)

  • Ventajas básicas:

    • Cero fugas: tasa de fuga del sello metálico< 1 × 10 1 mbar = '' > (he Detection of leaks).

    • Horneado resistente a altas temperaturas: el cuerpo de la válvula es soportable250 ° C ~ 300 ° CHornear (versión estándar) /450°C(versión personalizada).

    • Sin materiales orgánicos: estructura totalmente metálica para evitar la contaminación por descarga de gas.

2. diseño

  • Sistema de doble sellado: sello principal (filo de cuchillo metálico) + sello secundario (compensación elástica).

  • Accionamiento de bajo par: Acoplamiento magnético o transmisión de fuelle para evitar fugas en el sello del eje.

  • Pureza del material: acero inoxidable 316L (pulido electrolítico de grado ep), rugosidad de la superficie inferior a 0,8 micras. ().


II. clasificación de modelos y parámetros técnicos

1. reglas de nomenclatura del modelo (tomando como ejemplo el IVA uhv 24)

Segmento de código Significado
UHV Nombre de la serie (válvula de vacío uhv)
24 Tamaño del diámetro (24 = dn40, 54 = dn100)
sufijo Modo de conducción (por ejemplo - m = manual, - a = neumático)

2. tabla de comparación de submodelos

modelo Diámetro Tipo de brida Modo de conducción Tasa de fuga Temperatura de cocción Rango de precios (yen)
IVA UHV 24-A DN40 CF-F neumático <1×10 ⁻ ¹² mbar=''> 250°C 50.000 a 80.000
IVA UHV 54-M DN100 ISO-K manual <1×10 ⁻ ¹² mbar=''> 300°C 120.000 a 180.000
IVA UHV 10-E DN16 ICF eléctrico <1×10 ⁻ ¹³ mbar=''> 450 ° c (personalizado) 200.000 +

3. parámetros técnicos detallados

parámetro Valor estándar / rango
真空性能
- tasa de fuga <1×10 ⁻ ¹² mbar=''>
- diferencia de presión 10 m2 mbar a presión atmosférica
Propiedades mecánicas
Material del cuerpo de la válvula Acero inoxidable 316L (clase ep)
- material de sellado Cobre / aluminio chapado en oro o cobre sin oxígeno
- vida útil del ciclo > 50000 veces (sello metálico)
Parámetros eléctricos / neumáticos
- modo de conducción Neumáticos (0,5 a 0,7 mpa) / eléctricos (24v dc)
- tiempo de respuesta Versión neumática ≤ 1s, versión eléctrica ≤ 5s
Adaptabilidad ambiental
- temperatura de cocción Estándar 250 ° c, personalizado 450 ° C
Resistencia a la corrosión Compatible con h, o, plasma (se requiere recubrimiento selectivo)

III. escenarios de aplicación típicos

1. fabricación de semiconductores

  • aplicación:

    • Aislamiento de la cavidad de la máquina de grabado / Máquina de implantación de iones (prevención de la contaminación por partículas).

    • Mantenimiento de vacío súper alto del sistema de Epitaxia de haz molecular (mbe).

  • Recomendación del modelo:

    • VAT uhv 24 - a (dn40, aislamiento aerodinámico rápido).

2. dispositivos de investigación científica

  • aplicación:

    • Control de haz de la fuente de luz de radiación sincrotrón.

    • Segmentos de vacío de dispositivos de fusión nuclear (como tokamak).

  • Recomendación del modelo:

    • VAT uhv 54 - M (dn100, sellado manual y confiable).

3. espacio y recubrimiento

  • aplicación:

    • Prueba de sellado al vacío del tanque de almacenamiento de propulsor por satélite.

    • Regulación de la presión de la cavidad de la máquina de recubrimiento óptico.

  • Recomendación del modelo:

    • VAT uhv 10 - E (dn16, control eléctrico de precisión).


IV. puntos clave de selección e instalación

1. factores clave en la selección del modelo

  • Demanda de diámetro: calculado en función del tráfico (por ejemplo, el par dn40 debe ser de aproximadamente 20 l / S @ 10 mbar).

  • Modo de conducción:

    • neumático: interruptor rápido (adecuado para aislamiento seguro).

    • eléctrico: se puede integrar el control automatizado (como el plc).

  • Norma de brida:

    • Brida CF: vacío súper alto (sello metálico).

    • Brida ICF: demanda de tasa de fuga mínima (por ejemplo, 10 mbar).

2. especificaciones de instalación

  • Requisitos de limpieza:

    • Limpiar la superficie de la brida con cetona / alcohol (usar guantes libres de polvo) antes de la instalación.

  • Control del par:

    • Los pernos de la brida CF deben apretarse paso a paso de acuerdo con la línea diagonal (dn40 recomienda de 8 a 10 nm).

  • Recomendaciones para hornear:

    • Se calienta a 250 ° C a una velocidad de 10 ° C / min y se mantiene caliente durante 48 horas.


V. mantenimiento y manejo de fallas

Fenómeno de fallo Posibles causas solución
La tasa de fuga supera el estándar Arañazos en la superficie de sellado / contaminación por partículas Volver a pulir la superficie de sellado o reemplazar el asiento
La válvula está atascada Deformación / lubricación insuficiente a altas temperaturas Uso de grasa de alta temperatura (como apiezon)
Fallo de accionamiento Falla de la válvula solenoide (versión neumática) Comprobar la presión de la fuente de gas (≥ 0,5 mpa)